顶立科技立式化学气相沉积炉（碳化硅） 

概述：立式化学气相沉积炉可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。
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刷新时间：
2022-11-07 16:43:15 点击64240次
分类：
通用机械 > 工业炉
服务区域：
全国
联系电话：
18874256050
信用：4.0  隐性收费：4.0
描述：4.0  产品质量：4.0
物流：4.0  服务态度：4.0
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技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。




立式化学气相沉积炉（碳化硅）配置选择

炉门：丝杠升降/液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧  

炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC   

加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产 

热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/B分度号  

记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产


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