顶立科技卧式化学气相沉积炉（碳化硅） 

概述：该化学气相沉积炉（碳化硅）可用于以硅烷为气源的材料表面抗氧化涂层、基体改性等。
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刷新时间：
2022-11-07 16:43:18 点击57525次
分类：
通用机械 > 工业炉
服务区域：
全国
联系电话：
18874256050
信用：4.0  隐性收费：4.0
描述：4.0  产品质量：4.0
物流：4.0  服务态度：4.0
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卧式化学气相沉积炉（碳化硅）技术特征

可根据客户需求设计尺寸，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小；

采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 

采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理；

采用最新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低。



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