顶立科技立式化学气相沉积炉（沉积炭） 

概述：立式化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理
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刷新时间：
2022-11-07 16:43:11 点击64794次
分类：
通用机械 > 工业炉
服务区域：
全国
联系电话：
18874256050
信用：4.0  隐性收费：4.0
描述：4.0  产品质量：4.0
物流：4.0  服务态度：4.0
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立式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

根据炉膛尺寸与结构设置温区，温度均匀性好;

采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理


立式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

参数\型号 VCVD-0305-C VCVD-0608-C VCVD-0812-C VCVD-1015-C VCVD-1120-C VCVD-1520-C HCVD-151530-C
工作区尺寸D×H（mm） Φ300×500 Φ600×800 Φ800×1200 Φ1000×1500 Φ1500×2000 Φ1500×2000 Φ2600×3200
最高温度（℃） 1500 1500 1500 1500 1500 1500 1500
温度均匀性（℃） ±5 ±5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10 ±15
极限真空度（Pa） 50 50 50 50 50 50 50
压升率（Pa/h） 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67

以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。


[本信息来自于今日推荐网]