顶立科技卧式化学气相沉积炉（沉积炭） 

概述：化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。
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刷新时间：
2022-11-07 16:43:06 点击54246次
分类：
通用机械 > 工业炉
标签：
进口国产
服务区域：
全国
联系电话：
18874256050
信用：4.0  隐性收费：4.0
描述：4.0  产品质量：4.0
物流：4.0  服务态度：4.0
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卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

可根据客户需求设计尺寸，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

采用多温区独立控温，温度均匀性好；

采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；

对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。


卧式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

参数\型号 HCVD-060609-C HCVD-080812-C HCVD-101015-C HCVD-121225-C HCVD-151530-C
工作区尺寸 W×H×L（mm） 600×600×900 800×800×1200 1000×1000×1500 1200×1200×2500 1500×1500×3000
最高温度（℃） 1500 1500 1500 1500 1500
温度均匀性（℃） ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
极限真空度（Pa） 50 50 50 50 50
压升率（Pa/h） 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。


卧式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择

炉门：铰链回转式/台车平移式；手动锁紧/自动锁圈锁紧      

炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC   

加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产    

真空泵和真空计：进口/国产 

人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机     

PLC：欧姆龙/西门子

控温仪表：日本岛电/英国欧陆   

热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产   

电器元件：正泰/施耐德/西门子

料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车


[本信息来自于今日推荐网]