中图仪器SJ6000国产激光干涉仪
概述: 激光干涉仪是实现大量程纳米测量的重要方法,具有测量精度高、测量范围大及对待测振动表面无干扰等特点,已广泛应用于航天器微振动的地面测试、雷达目标识别、精密机械制造、材料探伤等领域。
激光干涉仪是实现大量程纳米测量的重要方法,具有测量精度高、测量范围大及对待测振动表面无干扰等特点,已广泛应用于航天器微振动的地面测试、雷达目标识别、精密机械制造、材料探伤等领域。
中图仪器SJ6000国产激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量的高精密测量,用于检测数控机床、自动化设备、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等,以及进行数控机床、三坐标测量机的精度补偿。
产品参数
产品型号:SJ6000
产品名称:SJ6000激光干涉仪
稳频方式:双频激光热稳频
稳频精度:0.05ppm
线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃
线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)
角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
测量分辨力:1nm
动态采集频率:50KHz
预热时间:≤6分钟
工作温度范围:(0-40)℃
环境温度范围:(0-40)℃,环境湿度:0-95%
主要特点:应用范围广、测量精度高、操作方便
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
SJ6000国产激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
产品特点
1. 测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量;
2. 在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
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