白光干涉仪测薄膜表面起伏 

概述：各种光学镜片和玻璃等超精密加工产物，其表面质量等级非常高。如果采用接触式的轮廓仪，会划伤器件表面，而一般的非接触式光学影像方法，也没有办法克服它的高透明度特性。用光学干涉原理研制成的中图仪器

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2023-08-03 17:31:23 点击16906次
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仪器仪表 > 光学仪器 > 干涉仪
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超精密加工 非接触式 中图仪器 膜层厚度
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各种光学镜片和玻璃等超精密加工产物，其表面质量等级非常高。如果采用接触式的轮廓仪，会划伤器件表面，而一般的非接触式光学影像方法，也没有办法克服它的高透明度特性。用光学干涉原理研制成的中图仪器的SuperView W1白光干涉仪，为玻璃和光学镜片的表面质量提供了标准解决方案。

玻璃表面台阶检测

透明玻璃表面镀的一层金属膜，因为其非透明特性，薄膜测厚仪没有办法测膜层厚度。况且膜层厚度的精度是在纳米级别的，不管是非接触式光学仪器还是接触式台阶仪，都存在测量误差，而中图仪器研发生产的SuperView W1白光干涉仪的测量精度达到亚纳米级，可以对膜层厚度进行一键测量。

仪器软件对两台阶高的检测


光学透镜检测
球面透镜在可见光领域是一种基础光学器件，其光的传播效果受曲率半径和表面粗糙度的影响，中图仪器SuperViewW1白光干涉仪可以对这两项参数同时进行检测。

某型号双胶合透镜的曲率半径和表面粗糙度检测


SuperViewW1白光干涉仪适合检测的样品按领域分为消费电子类、半导体封装、超精密加工（机械、光学）、微纳材料这四个大的领域。超精密加工这个行业覆盖面比较广，包括航空航天上用到精密零部件，包括金属、陶瓷片和石英制的精密器件，大多数由于要求在检测过程中不能划伤器件表面，因此在检测方式上需要采用非接触式的方式，因而需要用白光干涉仪这类仪器。

白光干涉仪测薄膜表面起伏
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