德国Attocube精密位移传感器IDS3010 

概述：IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——动智精密 IDS3010皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器——精密加工 IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器

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IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器—

IDS3010/IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器

attocube的FPS和IDS系列创新性光电测距传感器的精度、速度和小型化程度远超目前市面上的同类测量设备。基于专利的光纤型干涉测量原理，该系列传感器具有极为出色的精度和稳定性，同时由于高度集成化的设计，系统的装调异常简单，甚至可以在非常狭小的空间内进行安装和工作。光纤化的传感头可以在诸如超高真空、低温甚至强辐射环境下工作。

attocube的FPS和IDS两个产品系列可以满足不同的市场需求。FPS系列具有集成化的测量功能，且带有高级分析功能，非常适合无接触、超高精度位置测量，可快速得到数据反馈。典型应用包括质量控制和高端科研领域。相对而言，IDS传感器主要针对设备内集成以及常用工业网络的无缝连接，兼容多种工业控制总线，并完全符合工业4.0标准。

attocube的FPS和IDS光电测距传感器可以实现达2m/s高速测量，属于激光测速测距传感器；同时，配以附件，以及内部数据采集处理单元，还能实现高速测角仪功能。支持高宽带高精度测量，满足高速测角要求

超高紧凑体积（50×55×195mm），易于工业集成。传感器可直接集成到机床，3坐标测量系统及半导体设备等设备上。

支持工业结构，提供实时数字接口（HSSL，AquadB）以及模拟（sin/cos）位置数据。台提供如CANopen，Profibus，Profibus RT，EtherCAT以及Biss-C等。

支持三轴测量，最大测距达5m。

内置用于装调的可见光激光器，安装简易便捷。

采用法布里-珀罗干涉仪原理。

可工作在10MGy强辐射环境下。

目标值测量带宽达10MHz，分辨率达1pm。相对于传感器位移速度可达2m/s。

配有ECU环境补偿单元，在极端环境下，长距离测量精度可达±1ppm。

以太网Web界面（工业4.0）

紧凑，适用于设备集成

3轴：测量不稳定的俯仰pitch和偏航运动yaw

易于集成（仅Ø1.2mm，重量仅几克）

实时通讯接口：HSSL，AquadB和Sin / Cos

动态（增益和偏移）重新调整

传感器头适用于极端环境：

低温和高温（最高450°C），UHV兼容性，

强辐射（高达10MGy）和高磁场