器件表面 选购指南
白光干涉仪测薄膜表面起伏
各种光学镜片和玻璃等超精密加工产物,其表面质量等级非常高。如果采用接触式的轮廓仪,会划伤器件表面,而一般的非接触式光学影像方法,也没有办法克服它的高透明度特性。用光学干涉原理研制成的中图仪器的SuperView W1白光干涉仪,为玻璃和光学镜片的表面质量提供了标准解决方案。 玻璃表面台阶检测 透明玻璃表面镀的一层金属膜,因为其非透明特性,薄膜测厚仪没有办法测膜层厚度。况且膜层厚度的精度是在纳米级别的,不管是非接触式光学仪器还是接触式台阶仪,都存在测量误差,而中......