SIMCO离子风棒5635 

概述：简 介 5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。

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简 介 5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。 特点： Ø 采用在世界上无与伦比的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。 Ø 通过独特的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。 Ø 平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。 Ø 通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。 Ø 1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。 Ø 电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。 Ø 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。 Ø 内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。 Ø 可用于全球高层次网络。 产 品 规 格 输入电压 24V DC + / -10％ 输出电压 最大可调至约13.5kv PP 安装距离 100毫米?1000毫米（无空气净化） 离子生成方式 电晕放电法 PM（脉冲变调）方式 变动频率　1 ～　33 Hz 离子平衡度 自动平衡调节方法
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