二手南光1100MM真空电镀膜机配置:工件盘 公自转,晶控
概述:配置:工件盘 公自转,晶控 310,单枪 电子枪 ,双阻蒸,考夫曼离子源,镀膜室内采用灯管加热
工厂转让2台南光1100 9成新镀膜机 包安装调试服务(销售技术杨经理:18103045976)
型 式:1100DBI
产品参数:
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架 Ф1130mm
工件架转速 10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式
排气系统 机械泵2个扩散泵Polycold(或2个冷凝泵)
性 能
达到压力 7.0×10-5Pa以下
排气时间 15分(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度 最高:350℃
工作条件
设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量 140升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约9000kg
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