二手南光1100MM真空电镀膜机配置:工件盘 公自转,晶控  

概述:配置:工件盘 公自转,晶控 310,单枪 电子枪 ,双阻蒸,考夫曼离子源,镀膜室内采用灯管加热

刷新时间:
2024-04-27 10:36:03 点击614次
服务区域:
江苏/镇江/扬中/经济开发区
价格:
  • 12600 元
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0769-23105805 杨肖梅
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工厂转让2台南光1100  9成新镀膜机 包安装调试服务(销售技术杨经理:18103045976)

 型 式:1100DBI

产品参数:

 真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H) 

工件架  Ф1130mm 

工件架转速 10rpm to 50rpm(可变) 

光学膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式 

排气系统 机械泵2个扩散泵Polycold(或2个冷凝泵) 

 性 能

达到压力 7.0×10-5Pa以下 

排气时间  15分(大气压~1.3×10-3Pa) 

基板温度 最高:350℃ 

工作条件

设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)  

电源 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA  

水流量 140升/分以上 

空气压力 0.5MPa以上  

重量 约9000kg   


[本信息来自于今日推荐网]