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纳米涂层可以在较多复杂形状基材上进行沉积，沉积率高，粘着力佳，密度性增强，涂层均匀性好，基材温度低，易于制备理想化学配比的各种化合物或合金。且离化的离子具有较高的动能（40~100ev）。纳米涂层中纳米薄膜是通过气态的氮化物分子凝聚到基体的表面的，从而开始了所谓的形骸阶段。氮化物分子在基体上先是形成了一些均匀，细小的分子团，这些分子团像液珠一样不断地接受新的沉积分子，直至个各分子团合并为止，一般要进行到薄膜厚度达数十微米才告结束。纳米涂层薄膜与基底之间会由于范德瓦尔斯引起而结合在一起的。纳米涂层这种物理引力起源于原子间的相互吸引，它随着界面两侧物质间距的增加而迅速降低。虽然这种引力数值较小，每对原子间的作用能0.1ev量级，但它会造成很强的的薄膜附着力。