沉积炉 选购指南

顶立科技卧式化学气相沉积炉（沉积炭）

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征 可根据客户需求设计尺寸，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求； 采用多温区独立控温，温度均匀性好； 采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好； 对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。 卧式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格 参数\型号 HCVD-060609-......