超精密加工 选购指南
超精密气静压平面数控磨床
超精密气静压平面数控磨床“ZCS-QPM250超精密气静压三轴气浮数控平面磨床” ,采用气静压砂轮电主轴,X/Y二轴高精密气浮导轨。台达PLC、台达伺服电机和驱动器组成伺服驱动系统。使整机达到平面度0.5um(100mm×100mm),表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具体参数如下: 超精密气静压平面数控磨床ZCS-QPM250系列: 超精密气静压平面数控磨床最大行程:250*500mm 超精密气静压平面数控磨床最大磨削尺寸:260*580*380mm 伺服电机驱动X......
白光干涉仪测薄膜表面起伏
各种光学镜片和玻璃等超精密加工产物,其表面质量等级非常高。如果采用接触式的轮廓仪,会划伤器件表面,而一般的非接触式光学影像方法,也没有办法克服它的高透明度特性。用光学干涉原理研制成的中图仪器的SuperView W1白光干涉仪,为玻璃和光学镜片的表面质量提供了标准解决方案。 玻璃表面台阶检测 透明玻璃表面镀的一层金属膜,因为其非透明特性,薄膜测厚仪没有办法测膜层厚度。况且膜层厚度的精度是在纳米级别的,不管是非接触式光学仪器还是接触式台阶仪,都存在测量误差,而中......





