等离子清洗机在集成电路和MEMS行业的应用 

概述：主要产品有：等离子清洗机、等离子刻蚀机、等离子去胶机、等离子处理机、等离子表面处理设备及工业废气处理设备。公司品牌商标为："戈德尔-Guarder”，引进德国先进等离子应用技术，其系列产品覆盖全国大部分省市，并出口北美、澳洲、中东、东南亚等地区。
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    在集成电路或MEMS微纳米加工前道工序中，晶圆表面会涂上光刻胶，然后光刻，显影，但光刻胶只是图形转化的媒介，当光刻后在光刻胶上形成微纳米图形后，需要进行下一步的生长或刻蚀的工艺，之后需要用某种方法把光刻胶去除。等离子体去胶机可实现此功能。它用射频或微波方式产生等离子体，同时通入氧气或其他气体，等离子体与光刻胶进行反应，形成气体被真空泵抽走.



  GDR-PLASMA   烟台金鹰科技有限公司是专业从事真空及大气低温等离子体（电浆）技术、水处理环保设备，静电驻极设备，静电发生器射频及微波等离子体技术、工业废气及污水环保技术研发、推广、销售于一体的高新技术企业 。
    产品有：等离子清洗机、等离子刻蚀机、水处理环保设备、静电驻极设备等离子去胶机、等离子处理机、等离子表面处理设备及工业废气处理设备。公司品牌商标为："戈德尔-Guarder”，引进德国先进等离子应用技术，其系列产品覆盖全国大部分省市，并出口北美、澳洲、中东、东南亚等地区。

   


等离子清洗机在集成电路和MEMS行业的应用
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