四氟化碳 cf4 蚀刻气体 电子器件清洗 泄露检验剂 

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四氟化碳

UN: 1956  CAS NO:75-73-0，30kg/瓶 铜阀门QF-2，阀门型号：CGA660，出口螺纹：G5/8.

CF4是不燃烧的无色无味的压缩气体，饱和蒸汽压力2000psig，是目前微电子工业中用量最多的等离子蚀刻气体，可广泛用于硅，二氧化硅，氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻。在常温常压下为无色无臭有轻微酸味的气体。空气中不易燃烧，是比较稳定的无毒物质。但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧是，分解出有毒的氟化物。在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术，气相绝缘，低温制冷，泄漏检验剂，控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。也可用于金属冶炼，铜，不锈钢，碳钢，铝蒙及尔，还用于塑料行业。

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