美国PARKER UHP 超高纯 PTFE气动泥浆阀 (最高压力 1 inch) –
概述:PV-20 系列PTFE泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀泥浆介质提供特殊密封。阀门最大限度减小粒子的生成,用于半导体制造和洁净区域应用。
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PV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物气动隔膜阀,用于半导体和洁净区域应用中控制研磨性泥浆介质和腐蚀性流体。阀门的流路设计最大限度降低产生的压降,允许较低的上游压力需求,改进流体动力学。阀门有2通和3通型,三种通径尺寸(1/4", 1/2",和1")。接口尺寸范围:1/4" - 1-1/4" ,连接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。
PV-20系列泥浆阀阀体由初级形态100%超高纯聚四氟乙烯制成,具有更好的耐化学性。这个,再加上改性聚四氟乙烯隔膜,使阀门具有良好的柔韧性和最高循环寿命,最高压力100 psig。阀门本身也非常紧凑,使操作者能够保护洁净室和次洁净区。
PV-20系列的角形和圆形流路,加上一个开放和横扫碗形状围绕其隔膜,最大限度地减少湍流并消除可以引起流体剪切尖角。减少了颗粒截留,提供更高的防腐蚀保护。
总的来说,阀门的设计使其特别适合处理磨蚀和腐蚀性泥浆流体,比如那些存在于受雇于半导体制造的CMP (化学机械平坦化或化学机械抛光)工艺的 。PV-20系列也适用于广泛的其他洁净区处理及分析应用,比如控制酸、化学品和去离子水的流量。
市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点/优势:
• 优异的耐腐蚀性
• 均匀分布的阀座密封力最小化隔膜和阀座应变,稳定阀门背压能力
• 膜片厚度最大,最大限度地减少潜在的渗透,同时最大限度提高循环寿命
• 用在开环系统中腐蚀性流体时,自排水设计有助可靠性
• 符合 SEMI-F57-0301关于聚合物元件的标准
• 环境温度范围:0°F 至 +150° F (-17°C 至 +66° C)
• 流体温度范围:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)
• 压力范围:真空到100 psig
应用:
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 泥浆和腐蚀性化学品分配系统
• 去离子水
技术规格
湿性材料PTFE, 改性 PTFE
不湿润的材料PVDF, 氟橡胶, PTFE涂层不锈钢弹簧
压力范围27" HG 汞柱真空 (913 mbar) - 80 psig (5.5 bar) (1/4" 通径) 27" HG 汞柱真空 (913 nbar) - 100 psig (7 bar) (1/2" 通径) (1" 通径)
驱动压力60 psig (4.1 bar) - 80 psig (5.5 bar)
最高外界温度(C)66°C
最高外界温度(F)150°F
最低环境温度(C)-17°C
最低环境温度(F)0°F
最大流体温度(c)130°C
最流体温度(F)266°F
最小流体温度(C)-17°C
最小流体温度(F)0°F
端口连接2(英寸)1/4" Parflare, 3/8" Parflare, 1/2" Parflare, 3/4" Parflare, 1" Parflare, 1-1/4" Parflare
流体容量(Cv)Cv .20, Cv .76, Cv 2.4, Cv 3.9, Cv 6.4, Cv 10.9, Cv 13.5
流量因子kv(l /mn)Kv 2.8, Kv 10.8, Kv 34.2, Kv 55.8, Kv 91.5, Kv 155.4, Kv 192.9
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