高压电源板维修 

概述：服务范围： 从事大功率射频RF电源研发&第三方维修供应商，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维修PVD、CVD、 PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、

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刷新时间：
2025-04-25 09:21:45 点击131250次
分类：
设备维修
标签：
射频电源
服务区域：
全国
收费：
  • 386
联系电话：
13168751203 黄真全
QQ：
435653369
信用：4.0  隐性收费：4.0
描述：4.0  产品质量：4.0
物流：4.0  服务态度：4.0
默认4分 我要打分

服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU。       

电源维修

维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、

射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。

Thermo Chiller维修 

温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源

2、MKS ENI射频电源/直流电源

3、DAIHEN射频电源

4、KYOSAN射频电源/直流电源

5、COMDEL射频电源

6、ADTEC射频电源

7、SEREN射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

四、直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

    六、RPSC

    MKS 2L

     MKS 3L

     MKS 6L 

     MKS 8L

     MKS 15L

     MKS 22L 

    七、CHILLER温度控制泵浦

     SMC INR-341-16A

     SMC INR-498-011

     SMC INR-244-215

     SMC-INR-244-117A

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