CKD SPI VP5200L 

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CKD VP5200L
相位偏移法
基板尺寸 50mm×50mm～510mm×460mm
基板厚度 0.3～5.0mm
分解能 25μm/12.5μm 15μm/7.5μm
电子切换方式 电子切换方式

CKD SPI VP5200L
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