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ANN-6D晶圆片无尘室烘干箱，多层充氮无氧烘箱设备厂 

一、充氮无氧烘箱特点：

  1..全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

  2..适合于无尘室环境中使用

  3. 日本富士P.I.D智能温控仪表，操作便捷！

  4. 六个腔体独立控制，节省空间，操作方便！

  5. 全不锈钢材质，外观精致美观！

二、充氮无氧烘箱主要参数：

 1. 产品型号及名称：充氮无氧烘箱 ANN-6D

 2. 规格尺寸：工作尺寸：W450*H380*D450(6腔体)

 3..温度范围：RT＋10℃～250℃，40-45分钟(空箱测试)。

 4. 温度控制：精度±0.5%;

 5. 温度均匀：±2% (空箱测试)

 6. 功    率：18KW

 7. 降    温：采用风冷降温方式

 8. 加 热 器：特质复合式SUS304＃不锈钢无尘电热产生器

 9. 保温材质：120K级高密度硅酸铝纤维填充，保温层厚度为100mm