扫描电子显微镜检测 

概述： 【仪器简介】 扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线
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  • 【仪器简介】

    扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 （声子）、电子振荡 （等离子体）。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。

    【特点】1. 强大的电子光学系统，简单操作 2. 高解析度 3.全自动电子枪  4. 多图显示模式 5. 简单易懂的操作介面及功能表 6. 可变焦聚光镜修改 7. 全对中样品台 8. 低真空SEM 

    【技术参数】

    放大倍数：5-300，000倍 

    解析度：高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) 

    电子枪：全自动，亦可手动调整 

    样品台：大全對中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度 

    灯丝：工厂预对中灯丝（钨） 

    图像模式：二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像 

    加速电压：5-30KV 

    聚光镜：可变焦聚光镜 物镜：超级锥形物鏡 物镜光闌：3档，X-Y可细调

    电位移：±50微米 自动功能：聚焦，亮度，衬度，消像散 

    最大样品：直径：150mm 样品交换：抽拉式样品台 

    真空系统：全自动扩散泵DP。分子泵TMP

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