化学气相沉积
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用等离子体增强的化学气相沉积法(PECVD)是在等离子的帮助下进行处理的薄膜沉积工艺。在众多的等离子产生办法中,泰斯达PECVD反应系统使用了高密度的等离子源,如高频(RF-PECVD)、微波(MW-PECVD)和电子
[青岛 电热设备] 山东/青岛/高新区 属于 城阳区/棘洪滩街道 青岛市城阳区北万工业园
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