外延片 选购指南

蚀刻清洗台（硅片晶圆衬底外延片清洗）

蚀刻清洗台（硅片晶圆衬底外延片清洗） 适用产业为半导体照明（LED）--衬底工艺段、PSS工艺段、外延工艺段  、芯片工艺段；手动、自动控制模式；适用于蓝宝石晶片2-8inch25 Pcs/cassette数量1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch； 砷化镓晶片 2-6inch25 Pcs/cassette数量1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；碳化硅晶片2-8inch25 Pcs/cassette数量1 cassette/ Batch  Or  2 cassette/ Batch；其它衬底晶片。制程应用可用于切割后制程、磨......

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