腐蚀机 选购指南

全自动晶圆腐蚀机（多晶硅腐蚀机浸泡 式腐蚀清洗 电子清洗设备）

全自动晶圆腐蚀机（多晶硅腐蚀机浸泡 式腐蚀清洗 电子清洗设备） 用于晶圆片的清洗；适用于单片6″8″12″晶圆片。可能采用兆声波清洗（MHz级超声）增强效率，尤其擅长清除顽固颗粒和有机物；高压喷淋与化学湿法腐蚀协同作用，高效去除污染物且避免硅片损伤。 机械臂走向右进左出’或‘左进右出’；制程控制为PLC控制方式；操作界面为全图形化中文彩色人机界面（10.4彩屏）；槽体数量根据制程工艺要求选择定制；设备制造北京华林嘉业科技有限公司（CGB）；......

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