半导体工业 选购指南

六甲基二硅氮烷（HMDS）

六甲基二硅氮烷（HMDS） 产品简介 分 子 式：（CH3）3SiNHSi（CH3）3 　　分 子 量： 161.39 　　CAS 号： 999-97-3 　　英文名称： Hexamethyldisilazane 性 状： 无色透明液体、无毒、略带胺味 产 地： 德国 　　 技术指标 　　密度（25℃）g／cm＆sup3：0.770—0.780 　　折光率：1.408±0.002 　　六甲基二硅氮烷含量（％）：≥99.0 　　六甲基二硅氧烷含量（％）：≤0.7 　　三甲基硅醇含量％：≤0.3 　　闪点：27℃ 　　沸点：126℃ 　　色......

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