布鲁克台阶仪 Dektak台阶仪
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Dektak XT台阶仪--上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州
美国维易科(veeco)精密仪器有限公司(纳斯达克上市公司,代码:veco)是世界领先的精密测量仪器和工艺设备制造商。公司的主要品牌有:di扫描探针显微镜、dektak探针轮廓仪、wyko光学轮廓仪、nexus离子束沉积系统、turbodisc金属有机化学汽相沉积、veeco分子束外延系统。
Dektak XT 台阶仪是Dektak150型升级版,Veeco公司2007年正式推出的最新型探针式表面轮廓仪(台阶仪)产品,主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。
Dektak XT
出众的测量精度、准确的测试功能、最高的性价比
接触式测量模式—业内第一品牌
全球销量》10000台,中国销量》250台
中国大学、研究所》100台
中国太阳能客户销量》30台
中国LED客户销量》30台
技术参数:
拱形设计—系统更稳定
扫描长度:55mm
垂直测量范围:1mm(标准)
台阶高度重现性5Å, 1s在1um台阶上
垂直分辨率:最大1Å(6.55um范围)
探针压力:1-15mg
探针曲率半径:0.2-25um
超细探针50nm
样品台尺寸:150mm-200mm
可360°旋转,手动、自动可选
最大样品厚度:50mm
主要特点:
1.台阶高度测量的高重复性
2. 基于精密加工光学参考平面的样品台, 确保在长距离扫描中基线的稳定性
3. 出色的易用性、易维护性
4. 最好的样品适用性
5. 高分辨率的粗糙度测量
6. 功能强大的软件分析系统
7. 三维表面形貌测量的功能可升级性
8. 广泛的应用领域,
客户涵盖大学、研究所、工业领域(太阳能、LED、触摸屏、半导体、镀膜等多领域)[本信息来自于今日推荐网]
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