CVD气相沉积炉
概述:[中介]化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
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化学气相沉积炉技术特征
n 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;
n 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;
n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
n 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理[本信息来自于今日推荐网]- hnzzjr发布的信息
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