高真空磁控溅射镀膜仪 真空电镀机 集成电路电极制造 厂家直销
概述:厂家直销单靶高真空磁控溅射镀膜仪,配600升涡轮分子泵,4升双极机械泵,油污过滤器
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型号:HM-MS200
1.腔室外尺寸:Ф250×200mm,304优质不锈钢材质,带玻璃观察罩;内径:Ф200×200mm;
2.样品台尺寸:Ф60-100mm,高度:60~120mm可调;
3.真空系统:机械泵(0.06 Pa)+分子泵(8.0×10-6 Pa)
4.极限真空:8.0×10-6Pa;
5.真空抽速:大气~1×10-3 Pa ≤10 min;
6.真空测量:复合真空计,测量范围:105~10-5 Pa;
7.磁控靶:Φ50-100mm 1只,兼容直流电源和射频电源;
8.溅射电源:500W直流溅射电源;
9.流量计一套;
10.控制方式:具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能;
11.设备外形:L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架,预留1个KF25法兰接口;
12.设备供电总功率≤2KW,220V,单相三线制(一火一零一地);
13.设备集成度高,可以直接放置于实验桌面上,需要拆卸的部分采用即插即用的方式,接线及安装调试便捷简单;
14.设备整机可置于手套箱内,水、电、气等通过KF40接口接到手套箱外,与手套箱的对接灵活方便;
15.靶头水冷:有
16.样品台水冷:有
- czhm-instrument发布的信息
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- 5升桌面型真空等离子清洗机,表面处理机。去除表面杂质,增强亲水性,活化材料,提高达因值,上胶简单牢固。广泛用于金属表面,有机物,陶瓷类的表面处理。又称低温等离子体处理机,等离子处理器,等离子处理仪,低温等离子表面处理机,等离子处理设备,等离子体处理设备,电浆清洗机,电浆处理机,plasma处理机,plasma清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子去胶机,等离子体清洗机,等离子体清洗器,等离子体清洗设备。小型、中型及大型等离子表面处理设备广泛应用于实验室及工业生产等场合。工作原理是通过其等离子处理技术,改善材料表面润湿能力,等离子体清洗机使材料能够进行涂覆、涂镀、灰化等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。...
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