高真空磁控溅射镀膜仪 真空电镀机 集成电路电极制造 厂家直销 

概述:厂家直销单靶高真空磁控溅射镀膜仪,配600升涡轮分子泵,4升双极机械泵,油污过滤器
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18551070880 黄寺贵
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工程部 陈经理

联系电话:17715969149

技术部 黄经理

联系电话:18551070880

型号:HM-MS200

1.腔室外尺寸:Ф250×200mm,304优质不锈钢材质,带玻璃观察罩;内径:Ф200×200mm;

2.样品台尺寸:Ф60-100mm,高度:60~120mm可调;

3.真空系统:机械泵(0.06 Pa)+分子泵(8.0×10-6 Pa)

4.极限真空:8.0×10-6Pa;

5.真空抽速:大气~1×10-3 Pa ≤10 min;

6.真空测量:复合真空计,测量范围:105~10-5 Pa;

7.磁控靶:Φ50-100mm 1只,兼容直流电源和射频电源;

8.溅射电源:500W直流溅射电源;

9.流量计一套;

10.控制方式:具备漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能;

11.设备外形:L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架,预留1个KF25法兰接口;

12.设备供电总功率≤2KW,220V,单相三线制(一火一零一地);

13.设备集成度高,可以直接放置于实验桌面上,需要拆卸的部分采用即插即用的方式,接线及安装调试便捷简单;

14.设备整机可置于手套箱内,水、电、气等通过KF40接口接到手套箱外,与手套箱的对接灵活方便;

15.靶头水冷:有

16.样品台水冷:有




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